Makalah Karakterisasi Material (Sem Dan Tem) [PDF]

Citation preview

MAKALAH KARAKTERISASI MATERIAL “Scanning Electron Microscope (SEM) dan Transmission Electron Microscope (TEM)”



Oleh: 1. Herninda Ayu Meylinda Sari



161910101048



2. Arief Putra Mada Adillah



151910101004



3. Viky Maulana Ahmad



161910101024



4. Bintang Rizcky A.



161910101082



5. Dymas Ragiel Wicaksono



161910101103



UNIVERSITAS JEMBER FAKULTAS TEKNIK PROGRAM STUDI S1 TEKNIK MESIN JEMBER 2017



KATA PENGANTAR



Puji syukur penulis panjatkan kehadirat Allah SWT yang telah memberikan limpahan rahmat dan hidayahNya sehingga penulis dapat menyelesaikan makalah sistem pembangkit tenaga listrik. Makalah ini disusun berdasar dari berbagai sumber yang menjadi referensi penulis. Tujuan dari penyusunan makalah ini adalah untuk menyelesaikan salah satu tugas mata kuliah Karakterisasi Material di jurusan Teknik Mesin Fakultas Teknik Universitas Jember dan juga diharapkan menjadi salah satu bahan referensi bagi pembaca. Dalam makalah ini terdapat bahasan mengenai sistem pembangkit tenaga listrik, hal tersebut dimaksudkan agar pembaca mengerti bagaimana melakukan pekerjaan terhadap pembangkit tenaga listrik. Dalam penulisan makalah ini, penulis sudah berusaha secara maksimal untuk menyusun makalah dengan bahasa yang kiranya mudah dipahami bagi penulis dan pembaca. Namun karena keterbatasan yang ada, penulis menyadari masih banyak kekurangan dalam makalah ini hingga perlu penyempurnaan di penulisan yang berikutnya. Untuk itu kritik dan saran pembaca yang sifatnya membangun sangat penulis harapkan. Akhirnya penulis berharap semoga makalah ini bermanfaat bagi para pembaca.



Penuli



Penulis



Page | ii



DAFTAR ISI



KATA PENGANTAR............................................................................................................... ii DAFTAR ISI.......................................................................................................................... iii BAB 1 PENDAHULUAN ........................................................................................................ 1 1.1.



Latar Belakang..................................................................................................... 1



1.2.



Rumusan Masalah ............................................................................................... 1



BAB 2 PEMBAHASAN........................................................................................................... 2 2.1



Scanning Electron Microscope (SEM) ................................................................. 2



2.1.1



PRINSIP KERJA SEM ..................................................................................... 2



2.1.2



KOMPONEN UTAMA SEM ........................................................................... 4



2.1.3



KELEBIHAN SEM .......................................................................................... 6



2.1.4



KELEMAHAN SEM ........................................................................................ 6



2.2



Transmission Electron Microscope (TEM) .......................................................... 6



2.2.1



Komponen-Komponen TEM........................................................................ 6



2.2.2



Fungsi TEM .................................................................................................. 8



2.2.3



Cara Kerja TEM ............................................................................................ 9



2.2.4



KELEBIHAN TEM ........................................................................................ 10



2.2.5



KELEMAHAN TEM...................................................................................... 10



BAB 3 PENUTUP ................................................................................................................ 11 3.1.



Kesimpulan ........................................................................................................ 11



DAFTAR PUSTAKA ............................................................................................................. 12



Page | iii



BAB 1 PENDAHULUAN 1.1.



Latar Belakang Berdasarkan berkas elektron yang dideteksi (bagian yang ditransmisi atau dihamburbalikan) instrumentasi elektron mikroskopi terdiri dari dua tipe, Scanning Electron Microscopy (SEM) dan Transmition Electron Microscopy (TEM). Pada SEM,berkas elektron ditembakan pada permukaan sampel, sedangkan imejnya diperoleh berdasarkan hasil deteksi elektron yang dihamburbalikkan atau berdasarkan elektron sekunder. Elektron sekunder berasal dari permukaan sampel dan memiliki energi yang rendah sekitar 550 eV. Sedangkan elektron yang dihamburbalikan berasal dari bagian sampel yang lebih dalam dan memberikan informasi tentang komposisi sampel karena elektron yang lebih berat menghamburbalikan secara lebih kuat dan tampak lebih terang pada image yang dihasilkan. Dalam dunia riset, TEM (Transmission Elektron Mikroskopi) merupakan salah satu mikroskop yang penting. Dalam bidang material, mikroskop ini digunakan untuk mengetahui struktur material terutama bentuk kristal penyusun material yang tidak dapat dilihat dengan mikroskop biasa. TEM pertama kali dirancang oleh Max Knoll dan Ernst Ruska, prinsip awalnya dilakukan dengan membatasi pencitraan gelombang cahaya terhadap objek yang akan dilihat. TEM sederhana tersebut hanya mampu melihat spesimen material hingga 16 kali pembesaran. Perkembangan berikutnya kohler dan rohr menggunakan sinar ultraviolet, namun hal ini tidak dapat menghasilkan apa-apa karena terkendala oleh panjang gelombang. Berikutnya max knoll di Universitas Teknologi Berlin Adolf Matthias, ditunjuk sebagai ketua tim peneliti untuk mengembangkan desain CRO yaitu desain defleksi ’sinar katoda’. Kemudian pada tahun 1931 kelompok ini berhasil menggerakkan gambar yang diperbesar dari grid mesh yang diletakkan di atas aperture anoda. Alat ini menggunakan dua lensa magnetik untuk mencapai perbesaran yang lebih tinggi, dan alat inilah yang disebut mikroskop elektron pertama (TEM).



1.2.



Rumusan Masalah a. Apa yang dimaksud dengan Scanning Electron Microscope (SEM) ? b. Bagaimana Prinsip kerja Scanning Electron Microscope (SEM) ? c. Apa saja komponen-komponen serta kelemahan dan kelebihan Scanning Electron Microscope (SEM) ? d. Apa yang dimaksud dengan Transmission Electron Microscope ? e. Bagaimana Prinsip kerja Transmission Electron Microscope (TEM) ? f. Apa saja komponen-komponen, fungsi, serta kelemahan dan kelebihan Transmission Electron Microscope (TEM) ? Page | 1



BAB 2 PEMBAHASAN 2.1 Scanning Electron Microscope (SEM) Scanning Electron Microscope (SEM) adalah sebuah mikroskop elektron yang didesain untuk mengamati permukaan objek solid secara langsung. SEM memiliki perbesaran 10 – 3.000.000 kali, depth of field 4 – 0.4 mm dan resolusi sebesar 1 – 10 nm. Kombinasi dari perbesaran yang tinggi, depth of field yang besar, resolusi yang baik, kemampuan untuk mengetahui komposisi dan informasi kristalografi membuat SEM banyak digunakan untuk keperluan penelitian dan industri (Prasetyo, 2011). Anonymous (2012) menambahkan, SEM memfokuskan sinar elektron (electron beam) di permukaan obyek dan mengambil gambarnya dengan mendeteksi elektron yang muncul dari permukaan obyek.  Jenis sampel yang dapat dianalisa: sampel biologi atau material padat.  Aplikasi (analisa sampel): 1. Sampel Padat: logam, bubuk kimia, kristal, polymers, plastik, keramik, fosil, butiran, karbon, campuran partikel logam, sampel Arkeologi. 2. Sampel Biologi: sel darah, produk bakteri, fungal, ganggang, benalu dan cacing. Jaringan binatang, manusia dan tumbuhan. 3. Sampel Padatan Biologi: contoh profesi dokter gigi, tulang, fosil dan sampel arkeologi (Sudarman dkk., 2011). 2.1.1



PRINSIP KERJA SEM 1. Electron gun menghasilkan electron beam dari filamen. Pada umumnya electron gun yang digunakan adalah tungsten hairpin gun dengan filamen berupa lilitan tungsten yang berfungsi sebagai katoda. Tegangan yang diberikan kepada lilitan mengakibatkan terjadinya pemanasan. Anoda kemudian akan membentuk gaya yang dapat menarik elektron melaju menuju ke anoda. 2. Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju suatu titik pada permukaan sampel. 3. Sinar elektron yang terfokus memindai (scan) keseluruhan sampel dengan diarahkan oleh koil pemindai. 4. Ketika elektron mengenai sampel, maka akan terjadi hamburan elektron, baik Secondary Electron (SE) atau Back Scattered Electron (BSE) dari permukaan sampel dan akan dideteksi oleh detektor dan dimunculkan dalam bentuk gambar pada monitor CRT. Secara lengkap skema SEM dijelaskan oleh gambar dibawah ini:



Page | 2



Gambar 3. Mekanisme Kerja SEM Ada beberapa sinyal yang penting yang dihasilkan oleh SEM. Dari pantulan inelastis didapatkan sinyal elektron sekunder dan karakteristik sinar X. Sedangkan dari pantulan elastis didapatkan sinyal backscattered elektron. Sinyal -sinyal tersebut dijelaskan pada gambar berikut ini.



Gambar 4. Sinyal-sinyal dalam SEM Cara terbentuknya gambar pada SEM berbeda dengan apa yang terjadi pada mikroskop cahaya dan TEM. Pada SEM, gambar dibuat berdasarkan deteksi elektron sekunder atau backscaterred elektron yang muncul dari permukaan sampel ketika permukaan sampel tersebut dipindai dengan elektron. Elektron-elektron yang terdeteksi selanjutnya diperkuat sinyalnya, kemudian besar amplitudonya ditampilkan dalam gradasi gelap-terang pada monitor CRT (cathode ray tube). Di layar CRT inilah gambar struktur obyek yang sudah diperbesar dapat dilihat. Pada proses operasinya, SEM tidak Page | 3



2.1.2



memerlukan sampel yang ditipiskan, sehingga bisa digunakan untuk melihat obyek dari sudut pandang 3 dimensi (Anonymous, 2012). KOMPONEN UTAMA SEM 1. Penembak elektron (electron gun) Ada dua jenis atau tipe dari electron gun yaitu : a) Termal Pada jenis ini, energi luar yang masuk ke bahan dalam bentuk energi panas. Energi panas ini diubah menjadi energi kinetik. Semakin besar panas yang diterima bahan maka akan semakin besar pula kenaikan energi kinetik yang terjadi pada electron. Pada situasi inilah akan terdapat elektron yang pada ahirnya terlepas keluarmelalui permukaan bahan. Bahan yang digunakan sebagai sumber elektron disebut sebagai emiter atau lebih sering disebut katoda. Sedangkan bahan yangmenerima elektron disebut sebagai anoda. Dalam konteks tabung hampa (vacuum tube) anoda lebih sering disebut sebagai plate. Dalam proses emisi termal dikenal dua macam jenis katoda yaitu :  Katoda panas langsung (Direct Heated Cathode, disingkat DHC)  Katoda panas tak langsung (Indirect Heated Cathode, disingkat IHC) Pada katoda jenis ini katoda selain sebagai sumber elektron juga dialiri oleh arus heater (pemanas).Material yang digunakan untuk membuat katoda diantaranya adalah : o Tungsten Filamen Material ini adalah material yang pertama kali digunakan orang untuk membuatkatode. Tungsten memiliki dua kelebihan untuk digunakan sebagai katoda yaitumemiliki ketahanan mekanik dan juga titik lebur yang tinggi (sekitar 3400 oC), sehingga tungsten banyak digunakan untuk aplikasi khas yaitu tabung XRay yang bekerja pada tegangan sekitar 5000 V dan suhu tinggi. Akan tetapiuntuk aplikasi yang umum terutama untuk aplikasi Tabung Audio dimana tegangankerja dan temperature tidak terlalu tinggi maka tungsten bukan material yang ideal,hal ini disebabkan karena tungsten memilik fungsi kerja yang tinggi (4,52 eV) danjuga temperature kerja optimal yang cukup tinggi (sekitar 2200 o C). b. Field emission Pada emisi jenis ini yang menjadi penyebab lepasnya elektron dari bahan ialahadanya gaya tarik medan listrik luar yang



Page | 4



diberikan pada bahan. Pada katoda yangdigunakan pada proses emisi ini dikenakan medan listrik yang cukup besarsehingga tarikan yang terjadi dari medan listrik pada elektron menyebabkanelektron memiliki energi yang cukup untuk lompat keluar dari permukaan katoda.Emisi medan listrik adalah salah satu emisi utama yang terjadi pada vacuum tubeselain emisi thermionic. Jenis katoda yang digunakan diantaranya adalah :  Cold Field Emission  Schottky Field Emission Gun 2. Lensa Magnetik Lensa magnetik yang digunakan yaitu dua buah condenser lens. Condenser lens kedua (atau biasa disebut dengan lensa objektif) memfokuskan electron dengan diameter yang sangat kecil, yaitu sekitar 10-20 nm. 3. Detektor SEM memiliki beberapa detektor yang berfungsi untuk menangkap hamburan elektron dan memberikan informasi yang berbeda-beda. Detektor-detektor tersebut antara lain:  Backscatter detector, yang berfungsi untuk menangkap informasi mengenai nomor atom dan topografi.  Secondary detector, yang berfungsi untuk menangkap informasi mengenai topografi (Prasetyo, 2011). 4. Sample Holder Untuk meletakkan sampel yang akan dianalisis dengan SEM. 5. Monitor CRT (Cathode Ray Tube) Di layar CRT inilah gambar struktur obyek yang sudah diperbesar dapat dilihat. a) Topografi, yaitu ciri-ciri permukaan dan teksturnya (kekerasan, sifat memantulkan cahaya, dan sebagainya). b) Morfologi, yaitu bentuk dan ukuran dari partikel penyusun objek (kekuatan, cacat pada Integrated Circuit (IC) dan chip, dan sebagainya). c) Komposisi, yaitu data kuantitatif unsur dan senyawa yang terkandung di dalam objek (titik lebur, kereaktifan, kekerasan, dan sebagainya). d) Informasi kristalografi, yaitu informasi mengenai bagaimana susunan dari butir-butir di dalam objek yang diamati (konduktifitas, sifat elektrik, kekuatan, dan sebagainya).



Page | 5



2.1.3



KELEBIHAN SEM Adapun kelebihan teknik SEM yaitu terdapat sistem vakum pada electron-optical column dan sample chamber yang bertujuan antara lain:  Menghilangkan efek pergerakan elektron yang tidak beraturan karena adanya molekul gas pada lingkungan tersebut, yang dapat mengakibatkan penurunan intensitas dan stabilitas.  Meminimalisasi gas yang dapat bereaksi dengan sampel atau mengendap pada sampel, baik gas yang berasal dari sampel atau pun mikroskop. Karena apabila hal tersebut terjadi, maka akan menurunkan kontras dan membuat gelap detail pada gambar (Prasetyo, 2011).



2.1.4



KELEMAHAN SEM Kelemahan dari teknik SEM antara lain:  Memerlukan kondisi vakum  Hanya menganalisa permukaan  Resolusi lebih rendah dari TEM  Sampel harus bahan yang konduktif, jika tidak konduktor maka perlu dilapis logam seperti emas (Material Cerdas, 2009).



2.2 Transmission Electron Microscope (TEM) TEM (Transmission Elektron Mikroskopi) merupakan mikroskop yang digunakan untuk mengetahui analisis morfologi, struktur Kristal, struktur material terutama bentuk kristal penyusun material dan komposisi specimen. TEM memiliki high resolution sehingga dapat menjakau dalam ukuran nano meter. 2.2.1



Komponen-Komponen TEM Berikut adalah komponen-komponen yang terdapat pada TEM beserta penjelasannya: a. Ruang Vakum Ruang vakum merupakan tempat dimana interaksi elektron terjadi, TEM standar mempunyai tekanan rendah, yaitu sekitar 10-4 Pa. Hal ini dimaksudkan untuk mengurangi perbedaan tegangan antara katoda dan ground, dan juga untuk mengurangi frekuensi tumbukan elektron dengan atom gas. TEM membutuhkan film yang harus diganti secara teratur tiap ada objek sehingga TEM dilengkapi dengan sistem pemompaan ganda dan airlocks.



Page | 6



b. Spesimen stages Spesimen stages merupakan bagian yang fungsinya seperti meja preparat di mikroskop, yaitu berfungsi untuk meletakkan objek / preparat. Di dalam TEM spesimen stages ini berupa jaring-jaring yang bisa kita sebut dengan ’grid’. Ukuran grid TEM standar ditunjukkan seperti cincin berdiameter 3,05 mm, dengan ukuran ketebalannya mulai dari 100 pM. Sampel diletakkan pada grid dengan ukuran sekitar 2,5 mm. Grid biasanya terbuat dari tembaga, molibdenum, emas atau platinum. Untuk spesimen Elektron transparan memiliki ketebalan sekitar 100 nm, tetapi nilai ini tergantung pada tegangan percepatan. c. Electron gun Electron gun merupakan bagian dari TEM yang sangat penting, electron gun inilah yang menghasilkan partikel-partikel elektron. Electron gun memiliki beberapa komponen penting yaitu filament, sebuah biasing circuit, sebuah Wehnelt cap, dan sebuah extraction anode. Elektron dapat di ekstraksi dengan menghubungkan filamen ke komponen power supply negatif, elektron "dipompa" dari pistol elektron ke lempeng anoda, dan kolom TEM. Pistol dirancang untuk membuat berkas elektron keluar dari rangkaian dalam beberapa sudut tertentu, yang dikenal sebagai semiangle perbedaan pistol, α. Dengan membentuk silinder Wehnelt sedemikian rupasehingga memiliki muatan negatif lebih tinggi dari filamen itu sendiri untuk membuat elektron keluar dari filamen dengan cara diverging. Pada operasi yang tepat, pola elektron dipaksa untuk memusat dengan diameter ukuran minimum crossover pistol. d. Electron lens Lensa elektron dirancang dengan cara meniru lensa optik, dengan memfokuskan sinar sejajar pada beberapa constant focal length. Lensa dapat beroperasi elektrostatis atau magnetis. Mayoritas lensa elektron untuk TEM menggunakan kumparan elektromagnetik untuk menghasilkan lensa cembung. Untuk lensa ini bidang yang dihasilkan harus radial simetris, deviasi dari simetri radial lensa magnetik dapat menyebabkan aberasi seperti astigmatisme, spherical and chromatic aberration. lensa elektron dibuat dari besi, komposit besi-kobalt atau kobalt nikel. Seluruh komponen termasuk ’yoke’, kumparan magnet, pole, polepiece, dan sirkuit kontrol eksternal. polepiece harus diproduksi dengan cara yang sangat simetris. Kumparan yang menghasilkan medan magnet berada di dalam yoke. Biasanya kumparan dapat



Page | 7



digunakan dengan tegangan tinggi, oleh karena itu memerlukan isolator untuk mencegah hubungan arus pendek pada komponen lensa. Thermal distributor digunakan sebagai peredam panas yang dihasilkan oleh energi yang hilang dari gulungan coil. e. Apertures Apertures merupakan lingkaran pelat logam yang terdiri dari sebuah cakram logam kecil yang cukup tebal. Apertures digunakan untuk mengarahkan elektron agar dapat berjalan secara aksial. Hal ini dapat menyebabkan efek simultan, yaitu apertures dapat mengurangi berkas intensitas dan menghilangkan elektron yang tersebar di berbagai sudut tinggi, yang mungkin disebabkan oleh proses-proses yang tidak diinginkan seperti aberration, atau karena difraksi dari interaksi dalam sampel. Dengan adanya aperture, elektron sentral dalam TEM menyebabkan dua efek simultan:  Pertama, aperture mengurangi intensitas berkas elektron yang disaring dari balok, yang mungkin diinginkan dalam kasus sampel balok sensitif.  Kedua, penyaringan ini menghilangkan elektron yang tersebar pada sudut tinggi, yang mungkin disebabkan oleh proses-proses yang tidak diinginkan seperti aberration bola atau berwarna, atau karena difraksi dari interaksi dalam sampel 2.2.2



Fungsi TEM Sebuah Transmisi Elektron Mikroskop memiliki desain dengan mikroskop cahaya biasa, hanya perbedaannya TEM menggunakan cahaya sedangkan mikroskop cahaya menggunakan elektron. Dengan menggunakan tabung sinar katoda atau filamen (sumber untuk menghasilkan elektron yang sangat baik) dalam ruang hampa, elektron dipercepat menuju spesimen yang diberikan dengan menciptakan perbedaan potensial. Serangkaian magnet dan lubang logam digunakan untuk memfokuskan uap elektron menjadi monokromatik balok, yang kemudian bertabrakan dengan spesimen dan berinteraksi sesuai dengan kerapatan dan muatan material. Interaksi ini sangat dipengaruhi oleh bagaimana spesimen yang telah disiapkan. Adapun Sinyal utama yang dapat dihasilkan oleh TEM cukup banyak, antara lain: 1. Diffraction contrast : dipakai untuk mengkarakterisasi kristal, biasanya digunakan untuk menganalisa defek, endapan, ukuran butiran dan distribusinya. 2. Phase contrast : dipakai untuk menganalisa kristalin material. 3. Mass/thickness contrast : dipakai untuk karakterisasi bahan amorf berpori, polimer, dan material lunak lainnya.



Page | 8



4. 5. 6. 7.



2.2.3



Difraksi elektron Characteristic X-ray (EDS) Elektron energy loss spectroscopy Scanning transmission electron microscopy



Cara Kerja TEM Prinsip kerja TEM dimulai dari sumber emisi (pistol elektron) yaitu tungsten filament dan sumber lanthanum hexaboride (LaB6). Dengan menghubungkan pistol ini dengan sumber tegangan tinggi (biasanya ~ 100-300 kV) pistol akan mulai memancarkan elektron baik dengan termionik maupun emisi medan elektron ke sistem vakum. ekstraksi ini biasanya dibantu dengan menggunakan silinder Wehnelt. Interaksi elektron dengan medan magnet akan menyebabkan elektron bergerak sesuai dengan aturan tangan kanan, sehingga memungkinkan elektromagnet untuk memanipulasi berkas elektron. Penggunaan medan magnet akan membentuk sebuah lensa magnetik dengan kekuatan fokus variabel yang baik. Selain itu, medan elektrostatik dapat menyebabkan elektron didefleksikan melalui sudut yang konstan. Dua pasang defleksi yang berlawanan arah dengan intermediete gap akan membentuk arah elektron yang menuju lensa. Berbeda dengan mikroskop optik yang lensanya bisa langsung difungsikan, optik TEM bisa cepat berubah, TEM memiliki kekuatan lensa yang berubah-ubah. Lensa TEM memungkinkan adanya konvergensi, dengan sudut konvergensi yang sesuai variabel parameter, TEM berkemampuan untuk mengubah perbesaran dengan cara memodifikasi jumlah arus yang mengalir melalui kumparan, lensa quadrupole atau lensa hexapole. Biasanya TEM terdiri dari tiga tahap lensing. Tiga tahapan itu adalah lensa kondensor, lensa objektif, dan lensa proyektor. Lensa kondensor bertanggung jawab untuk pembentukan balok primer, sedangkan fokus lensa objektif datang melalui sampel itu sendiri (dalam STEM mode pemindaian, ada juga lensa objektif atas sampel untuk membuat konvergen insiden berkas elektron). Lensa proyektor digunakan untuk memperluas sinar ke layar fosfor atau perangkat pencitraan lain, seperti film. Pembesaran TEM berasal dari rasio jarak antara spesimen dan lensa objektif. Selain itu, lensa Quad dan hexapole digunakan untuk koreksi distorsi balok asimetris, yang dikenal sebagai astigmatisme. Perlu dicatat bahwa konfigurasi TEM optik sangat berbeda dengan kenyataannya. Sistem Pencitraan dalam TEM terdiri dari layar fosfor, partikel sulfida seng dibuat sehalus mungkin (10-100 pM) untuk pengamatan langsung



Page | 9



oleh operator. sistem perekaman gambar berdasarkan film atau doped YAG yang digabungkan CCD layar. Perangkat ini dapat dihapus atau dimasukkan ke dalam jalur balok oleh operator sesuai kebutuhan. Secara umum, elektron dihamburkan oleh partikel di udara, yang diperlukan untuk memperbaiki (dan mempercepat) electron yang disimpan dalam ruang hampa untuk mencegah interaksi yang tidak diinginkan. Oleh karena itu, untuk melihat spesimen hidup di bawah TEM sulit untuk dilakukan. Selain itu, elektron tidak dapat menembus spesimen yang sangat tebal lapisannya, karena hanya dapat menembus 50-100nm. 2.2.4



KELEBIHAN TEM a. Resolusi Superior 0.1~0.2 nm, lebih besar dari SEM (1~3 nm) b. Mampu mendapatkan informasi komposisi dan kristalografi dari bahan uji dengan resolusi tinggi c. Memungkinkan untuk mendapatkan berbagai signal dari satu lokasi yang sama.



2.2.5



KELEMAHAN TEM a. Hanya meneliti area yang sangat kecil dari sampel b. Perlakuan awal dari sampel cukup rumit sampai bisa mendapatkan gambar yang baik. c. Elektron dapat merusak atau meninggalkan jejak pada sampel yang diuji.



Page | 10



BAB 3 PENUTUP 3.1.



Kesimpulan Berdasarkan pembahasan pada makalah ini, maka dapat disimpulkan sebagai berikut : 1) SEM adalah salah satu jenis mikroskop elektron yang menggunakan berkas elektron untuk menggambar profil permukaan benda. 2) Prinsip kerja SEM adalah menembakkan permukaan benda dengan berkas elektron bernergi tinggi, dari interaksi tersebut dapat ditentukan diameter partikel penyusun suatu benda. 3) Intrumentasi SEM terdiri dari penembak elektron, lensa magnet, elektron-elektron sekunder, elektron-elektron terhambur balik, cathodoluminescence, dan sinar-X. 4) Sampel yang dianalisis dapat berupa logam dan non-logam yang dilapisi dengan logam mulia. 5) Pada Transmission Electron Microscopy (TEM) perbesaran dapat dilakukan hingga 500.000 x 6) Keunggulan dari penggunaan TEM adalah resolusinya yang tinggi hingga 0.2 nanometer, kemudian dapat menggambarkan secara langsung kisi Kristal serta cacat yang terdapat pada bagian dalam sampel. 7) TEM bekerja dengan prinsip menembakkan elektron ke lapisan tipis sampel, yang selanjutnya informasi tentang komposisi struktur dalam sample tersebut dapat terdeteksi dari analisis sifat tumbukan, pantulan maupun fase sinar elektron yang menembus lapisan tipis tersebut.



Page | 11



DAFTAR PUSTAKA 1. Anonymous. 2012. Mikroskop Elektron. http://id.wikipedia.org/wiki/Mikroskop_elektron Tanggal akses 9 Maret 2018. 2. IA State. 2009. Microscopy. http://mse.iastate.edu/microscopy/college.html Tanggal akses 9 Maret 2018. 3. Prasetyo, Y. 2011. Scanning Electron Microscope dan Optical Emission Spectroscope. 4. Material Cerdas. 2009. Teori Dasar Scanning Electron Microscopy. http://materialcerdas.com/ teori-dasar/scanningelectron-microscopy/ Tanggal akses 9 Maret 2018. 5. Anonymous, Transmission Electron Microscope (TEM), unl.edu.com. Tanggal akses 9 Maret 2018. 6. Jie, Wei, Li Yubao. 2003. Tissue engineering scaffold material of nanoapatite crystals and polyamide composite. European Polymer Journal 40 (2004) 509–515, www.elsevier.com/locate/europolj.Tanggal akses 9 Maret 2018. 7. Stoian, Razvan, Andrew Hill, Tress Hariiman.2006. TEM,SEM, and AFM of polystyrene latex and gold nanoparticles. Submission of journal publication on December, 7 2006.



Page | 12